EDS ; Enerji Dispersiv Spektrum , SEM, TEM’e eklenmek suretiyle, elementlerin enerjilerinden faydalanarak kantitatif kimyasal analiz yapmakta kullanılır. WDS; Dalgaboyu Dispersiv Spektrum, SEM ve TEM’e eklenmek suretiyle, elementlerin dalga boylarını kullanarak kantitatif kimyasal analiz yapar.