EDX analizi yorumlama

Herhangi bir numune veya numune üzerinde elementel kompozisyonu tanımlamak için kullanılan bir yöntemdir. Taramalı elektron mikroskobunda kullanılan bir tekniktir.

EDX , EDS veya EDAX olarak da adlandırılan enerji dağıtıcı x-ışını spektroskopisi, SEM analiz işlemi sırasında yüzey malzemesinin daha iyi anlaşılmasını sağlar. EDX analizi, bir numunenin elementel bileşimini elde etmek için kullanılır ve sadece SEM analizi ile sağlanandan daha nicel bir sonuç sağlar.

Taramalı elektron mikroskobu veya SEM (scanning electron microscope ), odaklanmış bir elektron demeti ile numune yüzeyini tarayarak görüntü elde eden bir elektron mikroskobu tipidir. Elektronlar numunedeki atomlarla etkileşerek numune yüzeyindeki topografi ve kompozisyon hakkında bilgiler içeren farklı sinyaller üretir.

EDS ; Enerji Dispersiv Spektrum , SEM, TEM’e eklenmek suretiyle, elementlerin enerjilerinden faydalanarak kantitatif kimyasal analiz yapmakta kullanılır. WDS; Dalgaboyu Dispersiv Spektrum, SEM ve TEM’e eklenmek suretiyle, elementlerin dalga boylarını kullanarak kantitatif kimyasal analiz yapar.

Temel çalışma prensibi: Elektron elde etmek için filament lamba kullanılır, üretilen elektronlar elektromıknatıslarla numune üzerine yönlendirilir, dedektör kamera gibi davranarak görüntü yakalar ve ekrana yansıtılır. SEM mikroskobunda numunenin yüzeyi yüksek enerjili elektronlarla taranarak görüntü elde edilir.