Temel çalışma prensibi: Elektron elde etmek için filament lamba kullanılır, üretilen elektronlar elektromıknatıslarla numune üzerine yönlendirilir, dedektör kamera gibi davranarak görüntü yakalar ve ekrana yansıtılır. SEM mikroskobunda numunenin yüzeyi yüksek enerjili elektronlarla taranarak görüntü elde edilir.