EDX , EDS veya EDAX olarak da adlandırılan enerji dağıtıcı x-ışını spektroskopisi, SEM analiz işlemi sırasında yüzey malzemesinin daha iyi anlaşılmasını sağlar. EDX analizi, bir numunenin elementel bileşimini elde etmek için kullanılır ve sadece SEM analizi ile sağlanandan daha nicel bir sonuç sağlar.