asal gazlar, CO2 ve halokarbonlar ile karışım halinde kullanılır . CO2 karışımlı Etilenoksit gazı; Tıpta ,sterilizasyonda; Optik aletlerin sterilizasyonunda; Isıya karşı duyarlı malzemeler ile talk tozu ve toprak gibi ısı yalıtan malzemelerin sterilizasyonunda kullanılır .